Charakterisierung von Ätzgruben auf CaF2 (111) mittels Rasterkraftmikroskopie

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https://osnadocs.ub.uni-osnabrueck.de/handle/urn:nbn:de:gbv:700-2008101018
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Title: Charakterisierung von Ätzgruben auf CaF2 (111) mittels Rasterkraftmikroskopie
Authors: Motzer, Christian
Thesis advisor: Prof. Dr. Michael Reichling
Thesis referee: Prof. Dr. Joachim Wollschläger
Abstract: Diese Arbeit beschäftigt sich mit der Untersuchung von geätzten (111) Calciumdifluoridspaltflächen mittels hochauflösender Rasterkraftmikroskopie (SFM). Die Ätzfiguren werden mit verschiedenen Säuren wie Salzsäure, Schwefelsäure, Phosphorsäure und Salpetersäure erzeugt, die typischerweise zur Versetzungsdefektanalyse eingesetzt werden. Die qualitativen Veränderungen auf der Oberfläche werden charakterisiert. Anschließend erfolgt eine quantitative Auswertung der Ätzgruben in Bezug auf ihre geometrische Erscheinung. Für alle Säuren können neben trigonalen Ätzgruben mit spitzen Böden auch Ätzgruben mit flachen Böden beobachtet werden. Aufbau und Wechselwirkungen der Versetzungen zueinander verursachen bestimmte relative Anordnungen der Ätzgruben wie z.B. Aneinanderreihungen von Ätzgruben bzw. Ätzgräben.. Beim qualitativen Vergleich der Ätzfiguren zeigen sich für die jeweiligen Säuren spezielle Merkmale. Das SFM erlaubt die direkte Auswertung der Größen der untersuchten Ätzgruben. Dadurch lassen sich zwei unterschiedliche Klassen von Ätzgruben unterscheiden. Die eine Klasse entsteht durch an der Oberfläche endende Versetzungsdefekte und ist charakterisiert durch exzentrische tiefe Ätzgruben. Die andere Klasse entsteht durch lokale Defekte unter der Oberfläche, die zentrische Ätzgruben geringerer Tiefe verursachen. Ätzgruben mit flachen Böden konnten ebenfalls in diese Klassen eingeteilt werden.
URL: https://osnadocs.ub.uni-osnabrueck.de/handle/urn:nbn:de:gbv:700-2008101018
Subject Keywords: Calciumdifluorid; Rasterkraftmikroskopie; Kristalldefekte; Versetzungsdefekte; Ätzen; Ätzgruben
Issue Date: 8-Oct-2008
Type of publication: Dissertation oder Habilitation [doctoralThesis]
Appears in Collections:FB06 - E-Dissertationen

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