Defektenspektroskopie im hochreinen und dotierten CaF2 für optische Anwendungen im DUV

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Titel: Defektenspektroskopie im hochreinen und dotierten CaF2 für optische Anwendungen im DUV
Autor(en): Sils, Janis
Erstgutachter: Prof. Dr. Michael Reichling
Zweitgutachter: Prof. Dr. Gunnar Borstel
Zusammenfassung: Diese Arbeit befasst sich mit den Untersuchungen an Defekten in optischen Materialien die in der Lithographie verwendet werden, speziell mit der Spektroskopie der Verunreinigungen im Kalziumfluorid. Zum einen werden die Eigenschaften der Sauerstoffdefekte in dotierten Proben untersucht, zum anderen werden die Ionen der seltenen Erden in nominal reinen Proben unterschiedlicher Herkunft identifiziert. Die Mechanismen der Aggregatbildung, Dissoziation und der Rekombination so wie die Reaktionsprodukte des Sauerstoffs wurden experimentell belegt und mit Ergebnissen der anderen Autoren verglichen. Bei den nominal reinen Proben konnte anhand der Zusammensetzung des Defektenhaushaltes der seltenen Erden Rückschlüsse auf Herkunft des Materials und Herstellungsbesonderheiten gemacht werden. Es konnte gezeigt werden, dass auch nominal reines Kalziumfluorid den Sauerstoff in Form von Aggregaten enthält.
URL: https://repositorium.ub.uni-osnabrueck.de/handle/urn:nbn:de:gbv:700-2009040812
Schlagworte: Lithographie; Kalziumfluorid; Sauerstoffdefekte; Verunreinigungen; Seltene Erden; Dissoziation; Rekombination; Lumineszenz; Zerstörschwelle
Erscheinungsdatum: 7-Apr-2009
Enthalten in den Sammlungen:FB04 - E-Dissertationen

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