osnaDocs: Defektenspektroskopie im hochreinen und dotierten CaF2 für optische Anwendungen im DUV

Defektenspektroskopie im hochreinen und dotierten CaF2 für optische Anwendungen im DUV

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https://osnadocs.ub.uni-osnabrueck.de/handle/urn:nbn:de:gbv:700-2009040812

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DC Field	Value	Language
dc.contributor.advisor	Prof. Dr. Michael Reichling
dc.creator	Sils, Janis
dc.date.accessioned	2010-01-30T14:37:58Z
dc.date.available	2010-01-30T14:37:58Z
dc.date.issued	2009-04-07T12:02:45Z
dc.date.submitted	2009-04-07T12:02:45Z
dc.identifier.uri	https://osnadocs.ub.uni-osnabrueck.de/handle/urn:nbn:de:gbv:700-2009040812	-
dc.description.abstract	Diese Arbeit befasst sich mit den Untersuchungen an Defekten in optischen Materialien die in der Lithographie verwendet werden, speziell mit der Spektroskopie der Verunreinigungen im Kalziumfluorid. Zum einen werden die Eigenschaften der Sauerstoffdefekte in dotierten Proben untersucht, zum anderen werden die Ionen der seltenen Erden in nominal reinen Proben unterschiedlicher Herkunft identifiziert. Die Mechanismen der Aggregatbildung, Dissoziation und der Rekombination so wie die Reaktionsprodukte des Sauerstoffs wurden experimentell belegt und mit Ergebnissen der anderen Autoren verglichen. Bei den nominal reinen Proben konnte anhand der Zusammensetzung des Defektenhaushaltes der seltenen Erden Rückschlüsse auf Herkunft des Materials und Herstellungsbesonderheiten gemacht werden. Es konnte gezeigt werden, dass auch nominal reines Kalziumfluorid den Sauerstoff in Form von Aggregaten enthält.	ger
dc.language.iso	ger
dc.subject	Lithographie
dc.subject	Kalziumfluorid
dc.subject	Sauerstoffdefekte
dc.subject	Verunreinigungen
dc.subject	Seltene Erden
dc.subject	Dissoziation
dc.subject	Rekombination
dc.subject	Lumineszenz
dc.subject	Zerstörschwelle
dc.subject.ddc	540 - Chemie	ger
dc.subject.ddc	530 - Physik	ger
dc.title	Defektenspektroskopie im hochreinen und dotierten CaF2 für optische Anwendungen im DUV	ger
dc.type	Dissertation oder Habilitation [doctoralThesis]	-
thesis.location	Osnabrück	-
thesis.institution	Universität	-
thesis.type	Dissertation [thesis.doctoral]	-
thesis.date	2008-04-30T12:00:00Z	-
elib.elibid	880	-
elib.marc.edt	jost	-
elib.dct.accessRights	a	-
elib.dct.created	2009-04-06T23:11:36Z	-
elib.dct.modified	2009-04-07T12:02:45Z	-
dc.contributor.referee	Prof. Dr. Gunnar Borstel
dc.subject.dnb	29 - Physik, Astronomie	ger
dc.subject.pacs	61.72.J-	eng
vCard.ORG	FB4	ger
Appears in Collections:	FB06 - E-Dissertationen

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